TORAY东丽 氧气浓度计MS-500
酸素濃度計半導体･液晶･電子部品関連用途Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components酸素濃度計 MS-500最大8ポイントを同時測定が可能ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出来ます。半導体製造装置、真空装置等への搭載に最適センサは直挿式(真空用NWフランジ16/25/40)高耐久のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐
酸素濃度計半導体･液晶･電子部品関連用途Oxygen Analyzer for Semiconductors, Electronic Components
酸素濃度計 MS-500
MS-500 機器仕様
測定原理 ジルコニア濃淡電池式 形状 分離型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式） 表示方式 デジタル4桁表示(濃度表示) 測定レンジ 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2 10-20～10-0atm
自動レンジ繰返性 ±0.5%FS以内 0-1%レンジ以上
±1%FS以内または±0.1ppmの大きい方 0-1%レンジ未満
0-1ppm,atmレンジは濃度保証範囲外測定点数 1～8 サンプルガス条件 圧力 10-3～200KPa（絶対圧） 流量 0.5～5,000mL/minまたは0mL/min(自然拡散状態の測定) 湿度 露点が周囲温度以下 温度 0～100℃ その他 腐食性ガス(フッ素系ガス、塩素系ガス、硫化系ガス等)、有機シリコンを含むガス、可燃成分(ガスも含む)、油分、水分を含まないこと 比較ガス 大気 記録計出力 伝送出力のみ 伝送出力 RS-232C 警報出力 なし ウォームアップ時間 6分以内 寸法 MS-500(コントローラ) 92(W)×44(H)×120(D) (突起部含まず) MS-510(変換機) 100(W)×40(H)×88(D) (突起部含まず) センサユニット SD16NW 全長100mm(センシング部Φ11×39,胴体部Φ40×51) SD25NW 全長100mm(センシング部Φ11×42,胴体部Φ40×48) SD40NW 全長100mm(センシング部Φ11×41,胴体部Φ40×49) 質量 MS-500(コントローラ) 約0.6Kg MS-510(変換器) 約0.5kｇ センサユニット SD16NW 約0.2Kg SD25NW 約0.2Kg SD40NW 約0.35Kg 外部接続 真空フランジ(NW16,25,40)のいずれか 使用電源 24VDC±10%
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