荏原制作所 EBARA 真空泵
产品阵容包括2种涡轮分子泵：电磁轴承EMT型、球轴承EBT型。能够广泛满足340～4,200L/min的大范围排气速度,可选择控制器一体型以及水冷/空冷方式。产品阵容覆盖高温规格、耐腐蚀规格、处理反应副产物、低振等各种选配件，可灵活满足广泛的用途需求。
产品阵容包括2种涡轮分子泵：电磁轴承EMT型、球轴承EBT型。能够广泛满足340～4,200L/min的大范围排气速度,可选择控制器一体型以及水冷/空冷方式。产品阵容覆盖高温规格、耐腐蚀规格、处理反应副产物、低振等各种选配件，可灵活满足广泛的用途需求。