日本kashiyama真空泵

Kashiyama樫山工業无油螺杆式干式真空泵NeoDry7G

Kashiyama樫山工業无油螺杆式干式真空泵NeoDry7GKashiyama樫山工業无油螺杆式干式真空泵NeoDry7GKashiyama樫山工業无油螺杆式干式真空泵NeoDry7G更多详情咨询:13024103468 刘经理樫山工業 NeoDry G 系列是一款无油螺杆式干式真空泵,主打高真空度、低能耗、长寿命的核心特性,专为半导体制造、电子元器件加工、真空镀膜、分析仪器等对洁净真空环境要求

Kashiyama樫山工業无油螺杆式干式真空泵NeoDry7G

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更多详情咨询:13024103468 刘经理


樫山工業 NeoDry G 系列是一款无油螺杆式干式真空泵,主打高真空度、低能耗、长寿命的核心特性,专为半导体制造、电子元器件加工、真空镀膜、分析仪器等对洁净真空环境要求严苛的工业场景设计,完全无油的工作方式可避免油蒸汽污染真空腔体,适配高洁净度生产需求。

一、核心结构与工作原理

  1. 干式螺杆压缩结构

    泵体内部采用一对非对称螺旋转子,转子之间、转子与泵体之间无接触,依靠精密的间隙设计(间隙<0.1mm)实现气体压缩与输送。工作时,转子由电机驱动反向旋转,通过吸气、压缩、排气三个连续过程,将腔体内部气体抽出,形成稳定真空。

    全程无润滑油参与,从根源上杜绝油蒸汽对真空环境的污染,满足 Class 1 级洁净度要求。

  2. 高效冷却系统

    标配水冷 + 风冷双模式冷却:小规格型号(如 G5、G10)采用风冷结构,无需外接冷却水,安装便捷;大规格型号(如 G30、G60)采用水冷设计,可在高负荷连续运行工况下稳定控制泵体温度,避免转子热变形导致间隙变化。

二、核心性能优势

  1. 高真空度与宽抽速范围

    • 极限真空度可达1Pa 以下(部分型号可至 0.1Pa),远超油封式真空泵,满足高精度真空工艺需求;

    • 抽速覆盖5~60m³/h,型号丰富,可匹配不同腔体容积的真空系统,从实验室小型设备到工业生产线均能适配。

  2. 低噪音、低振动运行

    采用高精度动平衡转子设计,搭配减震基座,运行噪音低至60~75dB(A),远低于同抽速的罗茨真空泵;无接触式转子结构减少了机械磨损,运行振动极小,可直接安装在生产车间或实验室,无需单独隔音减震措施。

  3. 长寿命与低维护成本

    转子与泵体无接触,易损件仅为轴承与密封件,正常工况下轴承寿命可达20000 小时以上;维护周期长(每 12 个月或 10000 小时维护 1 次),维护内容仅为更换滤芯与检查密封件,大幅降低运维成本。

  4. 智能控制与安全保护

    配备PLC 智能控制系统,支持真空度实时监测、自动启停、压力调节等功能;内置过载保护、过热保护、防逆转保护等多重安全装置,异常工况下自动停机并触发警报,保障设备与工艺安全。


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