日本樫山工业（KASHIYAMA）干式真空泵MUH3000
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日本樫山工业（KASHIYAMA）干式真空泵MUH3000
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更多详情咨询：13024103468 刘经理
纳加霍里科技（上海）有限公司
| 参数类别 | 数值 | 说明 |
|---|---|---|
| 最大抽气速度 | 500 L/min（50Hz）/ 600 L/min（60Hz） | 涡旋结构实现稳定抽速，适配中小型精密工艺 |
| 极限压力 | 1.0×10⁻² Pa（绝对压力） | 无油涡旋设计可实现超高真空度，满足半导体核心工艺需求 |
| 入口法兰规格 | NW40 | 适配标准真空管路，便于与精密设备对接 |
| 出口法兰规格 | NW25 | 适配常规排气系统，可连接消音器 / 过滤器 |
| 冷却水需求 | 2.0–3.0 L/min（0.1–0.3 MPa） | 水冷系统保障连续运行时的散热效率，适配长期工况 |
| 氮气吹扫流量 | 0–10 SLM（标准升 / 分钟） | 可调节吹扫流量，抑制工艺过程中介质凝结 |
| 电机功率 | 0.75 kW | 三相异步电机，适配工业 380V/50Hz 供电（可定制 220V） |
| 外形尺寸 | 450mm×350mm×400mm（长 × 宽 × 高） | 超紧凑设计，适合安装在设备内部或狭小空间 |
| 重量 | 约 45 kg | 轻量化机身，便于搬运与安装 |
| 噪音水平 | ≤60 dB(A) | 涡旋结构运行平稳，噪音远低于同级别真空泵 |
三、适用场景
