Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE90X

Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE90X

Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE90X

Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE90X

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日本樫山工业 SDE90X 属于 SDE 系列干式螺杆真空泵，主打耐严苛工艺、节能特性，常被用作半导体等领域的专用真空泵，适配中小型精密工艺场景。

该型号在 SDE 系列中属于小抽速基础款，参数侧重紧凑性和节能性，具体如下表所示：

1. 核心产品特性

• 强工艺耐受性：采用螺杆式转子设计，搭配耐腐蚀性强的结构材料与温度控制系统，不仅抗工艺副产品的能力突出，还能适配多种含有特殊介质的严苛工艺场景，减少介质对泵体的损耗。相比樫山工业传统同功能型号，其耐用性进一步提升。

• 高节能优势：1.3kW 的低功率消耗是其核心亮点之一，较传统同级别机型能耗降低 54%，对于需要长时间连续运行的场景而言，能大幅减少长期电力成本支出。

• 适配性灵活：机身尺寸紧凑，在半导体车间的精密设备旁或实验室的狭小空间内都能灵活摆放；同时兼容多种供电规格，可根据不同地区或场地的电力条件调整适配，降低安装调试难度。

2. 适用场景

   其核心适配场景集中在中小型精密制造及科研领域。作为半导体专用款，可用于小型晶圆加工、半导体元器件生产中的真空环境搭建；在实验室中，能适配精密材料研究的真空实验平台；此外，也可应用于医疗精密部件加工、小型电子元件封装等对真空度和介质洁净度有要求的场景，避免油雾污染工件或实验样本。