Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE120TX

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Kashiyama日本樫山工业干式螺杆真空泵SDE120TX

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日本樫山工业 SDE120TX 属于 SDE 系列干式螺杆真空泵，相比同系列 SDE90X 抽速更高，接口规格更适配中等规模工艺，是半导体、FPD 等精密制造领域的常用设备。

1. 适用场景

   该型号凭借稳定的真空性能和洁净特性，是半导体及 FPD 制造的常用标准设备。例如在半导体领域，可用于晶圆蚀刻、薄膜沉积等核心工艺的真空环境搭建；在 FPD（平板显示器）生产中，适配面板镀膜、光刻环节的真空供给。此外，也能应用于 LED 封装、新能源电池电极制造等对真空度和介质洁净度有高要求的中型精密生产场景。