日本TORAY东丽 氧气分析仪 MS-500

日本TORAY东丽      氧气分析仪  MS-500  电/微   详询   赵13062644508

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型号：MS-500

MS-500

能够同时测量多达8个点

显示广泛的浓度范围，从ppm级别到100%

最适合安装在半导体制造设备、真空设备等中。

直接插入式传感器（带真空法兰的NW 16/25/40）

用于高耐用传感器的特殊涂层，以提高耐用性

MS-500 规格

测量原理 锆英石浓差电池类型

类型 分离式（转换器：壁挂式；传感器：直插式）

显示系统 4位数字显示（浓度显示）

测量范围 0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2　10-20～10-0atm

自动范围

重复性 在满量程的±0.5%以内；范围为0-1%或更高

在满量程的±1%或±0.1 ppm，以较大者为准；范围小于0-1%

在0-1 ppm，大气压范围内的浓度不再保修。

测量点数量 1～8

样品气体要求 压力 10-3至200千帕（绝对压力）

流量 0.5至5,000毫升/分钟或0毫升/分钟（自然分散状态下测量）

湿度 露点低于环境温度

温度 0到100°C

其他 不得含有腐蚀性气体（氟气、氯气、硫酸气体等）、含有机硅的气体、易燃物质（包括气体）、油或水分

参考气体 大气层

录音机输出 仅限变速箱输出

变速器输出 RS-232C

报警输出 无

热身时间 6分钟或更少

维度 MS-500（控制器） 92 毫米 (宽) × 44 毫米 (高) × 120 毫米 (深)　 (不包括突出部分)

MS-510（转换器） 100 毫米 (宽) × 40 毫米 (高) × 88 毫米 (深)　 (不包括突出部分)

传感器单元 SD16西北 总长度 100毫米（传感器 ⌀ 11×39，主体 ⌀ 40×51）

SD25西北 总长度 100毫米（传感器 ⌀ 11×42，主体 ⌀ 40×48）

SD40西北 总长度 100毫米（传感器 ⌀ 11×41，主体 ⌀ 40×49）

重量 MS-500（控制器） 约0.6千克

MS-510（转换器） 约0.5千克

传感器单元 SD16西北 约0.2千克

SD25西北 约0.2千克

SD40西北 约0.35千克

外部连接 任何一种真空法兰（NW16、25 或 40）

力量 24V直流电±10%