HORIBA 堀场制作所

HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU

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HORIBA堀场制作所  双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU

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更多详情咨询:13024103468 刘经理


高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm(最高精度)微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。
适用于半导体精细制程控制。

概要

  • 高精度:+/- 2.0 ppm(最高精度)

  • 高速采样和输出

  • 双通道传感器实现了对供料槽和腔体的测量

  • 传感器内压力校正功能

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