HORIBA堀场制作所 双通道高精度 HF 浓度计HF-SP-CU
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高精度、高性能的 HF 浓度计支持 +/- 2.0 ppm(最高精度)微制程管理、高速采样和输出、双通道传感器和传感器内压力校正功能。
适用于半导体精细制程控制。
概要
高精度:+/- 2.0 ppm(最高精度)
高速采样和输出
双通道传感器实现了对供料槽和腔体的测量
传感器内压力校正功能