HORIBA堀场制作所 化学溶液监测系统仪CS-1000

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

能够对BEOL过程中使用的含有微量元素的多组分化学溶液进行浓度管理*1。

化学溶液中ppm *2级的低浓度组分无需任何预处理即可检测。只需在生产现场安装一体化系统，整合在一个独立的机柜中即可开始使用*3。

*1“后端线”的缩写，指半导体前端工艺中的布线形成过程。

*2 PPM =百万分之一。对于液体成分，1ppm意味着在1升液体中存在1mg的成分。

*3 SEMI S2认证。

概要

PPM级低浓度成分检测

通过改进光谱仪的性能（扩大波长范围和提高分辨率），并结合来自pH计和电导率计的信号，现在可以检测ppm级别的低浓度成分。

同时测量两种不同的化学溶液

该设备配有两条独立的样品流水线。通过完全隔离流动路径，它可以同时测量两种不同的化学溶液。

每六个月维修4小时

配备pH计，具有自动校准功能。维修只需要更换灯和pH计的内部溶液和校准溶液瓶。

配置