HORIBA堀场制作所 电容压力计VG-200
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HORIBA堀场制作所 电容压力计VG-200
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更多详情咨询：13024103468 刘经理
VG 系列电容式压力计尺寸紧凑，采用全金属设计，可选配自动温度调节功能。
概要
紧凑型自加热设计
电极结构带来高性能和高稳定性
镍合金隔膜具有良好的耐腐蚀性
设定点输出（2 点）
警报输出
通过专用软件调整量程
一键归零
电源要求 +/-15V 直流电或 24V 直流电
符合 CE 认证标准和 RoHS 标准
技术论文
电容薄膜真空计研发 (1.3MB)
摘要
"在用于制造发光二极管、半导体、平板显示器和太阳能电池的沉积制程或蚀刻制程中使用了各种气体，而制程压力对产品质量影响巨大，因此需要具备良好耐腐蚀性、无气体依赖性和高精度的真空计。为满足这些要求，HORIBA STEC 研发了电容薄膜真空计“VG-200 系列”，性能评估结果显示其具备出色的重现性和长期稳定性。本文将描述下 VG-200 系列产品的特性和性能评估结果。"
