HORIBA堀场制作所 腔室清洗监测的气体监测仪IR-200
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更多详情咨询：13024103468 刘经理
IR-200 实时监测四氟化硅（SiF4）气体浓度，并根据 SiF4 气体浓度确定清洗终点。
概要
监测高达 5000 ppm 的 SiF4 浓度
紧凑设计
可安装至排气管路
除 SiF4 外，该气体监测仪还可用于测量 CIF3 和其他气体。
配置
