HORIBA堀场制作所 微流量压力不敏感质量流量计D717uF

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更多详情咨询：13024103468 刘经理

D700uF（Micro Flow）专为≤5SCCM流量应用而设计。

在高纵横比工艺中，≤5SCCM的流量控制是非常关键的。

专门的组件和新开发的内部低流量标准允许高精度流量控制低至0.025SCCM。

概要

低至0.025SCCM流量控制能力

精密调气控制，提高工艺可调性

≤100ms升压响应和mfc到mfc偏差控制

提供高生产率和更高的过程性能

内部流量计量

所有制造产品的可靠性能

状态监控功能

为更智能的故障预测提供更多内部数据

PFA喷嘴具有更好的阀门关闭性和耐腐蚀性

具有较小颗粒风险的鲁棒性，可减少停机时间并优化产量

配置