日本东丽（TORAY）化锆式多点氧浓度计 MS-500/MS-510/SD 传感器
2026-01-12 17:08:32
admin
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日本东丽（TORAY）化锆式多点氧浓度计 MS-500/MS-510/SD 传感器
东丽 MS-500/MS-510/SD 是一套氧化锆式分离型多点氧浓度计，由 MS-500 控制器、MS-510 转换器与 SD 系列真空直插传感器组成，支持 1-8 点同步测量，覆盖 0.001ppm~100% O₂全量程，适配半导体真空设备、冶金窑炉等多测点场景，兼顾高精度、高耐用性与紧凑设计。
一、产品定位与核心用途
定位：工业级多点在线氧浓度监测系统，分离式架构适配复杂工况，真空直插设计无需采样，适合设备集成与批量产线部署。
核心用途：半导体真空沉积 / 扩散炉、冶金多段窑炉、新能源材料烧结炉、大型化工反应釜等多工位氧浓度同步监测，助力工艺一致性与节能控制。
二、系统构成与测量原理
1. 系统组件
| 组件 | 型号 | 功能 | 关键特性 |
|---|---|---|---|
| 控制器 | MS-500 | 系统控制、数据处理与显示 | 最多接入 8 个 MS-510 转换器，支持数据存储与报警管理 |
| 转换器 | MS-510 | 信号转换与通信 | 连接 SD 传感器，输出标准信号，适配多种通信接口 |
| 传感器 | SD16NW/SD25NW/SD40NW | 现场氧浓度检测 | 真空直插式，适配 NW16/25/40 法兰，特殊涂层提升耐用性 |
2. 测量原理
基于氧化锆浓差电池原理，600℃以上时氧化锆陶瓷传导氧离子，通过基准空气与被测气体的氧分压差异产生电动势，结合能斯特方程计算氧浓度，实现微量到常量的全量程精准测量。
更多详情或需提供技术支持可联系：13024103468 刘经理（V同号）
三、核心技术规格
| 参数 | 指标 | 备注 |
|---|---|---|
| 测量范围 | 0.001ppm~100% O₂ | 自动量程切换，覆盖微量至常量氧 |
| 测量精度 | ＜1% FS：±1% FS 或 ±0.1ppm（取大值）；≥1% FS：±0.5% FS | 保证数据可靠性 |
| 响应时间（T90） | ≤5 秒 | 高温、流量稳定工况下 |
| 测量点数 | 1-8 点 | 每点需 1 套 MS-510+SD 传感器 |
| 传感器安装 | 真空直插式 | 适配 NW16/25/40 法兰，直接嵌入真空设备 |
| 输出信号 | 4-20mA DC、RS-485、LAN（可选） | 支持 PLC/DCS 对接与远程监控 |
| 电源 | AC100~240V 50/60Hz | 控制器功耗低，适配工业供电 |
| 环境条件 | 控制器 / 转换器：0~40℃，35%~80% RH（无结露）；传感器：0~100℃ | 适配工业现场环境 |
| 预热时间 | 约 6 分钟 | 快速启动，缩短工艺等待时间 |
