东丽（TORAY）LD - 450 真空嵌入式氧气分析仪，满足SEMI行业标准
2026-01-12 17:01:48
admin
1
东丽（TORAY）LD - 450 真空嵌入式氧气分析仪，满足SEMI行业标准
东丽 LD - 450 是专为真空腔体场景设计的分离式氧化锆氧气分析仪，核心亮点是直插式真空适配、12mm 超细探头、超快响应、高耐用涂层传感器，搭配 DU - 450 电源单元，适配半导体真空蒸镀、光伏扩散炉、真空烧结炉等真空 / 高温工况下的微量氧实时监测，满足 SEMI 行业严苛标准。
一、核心定位与测量原理
核心定位：真空腔体嵌入式直接测量，无需采样系统，适配 10⁻²⁰~10⁰atm 真空区间，可嵌入 600℃高温腔体，解决真空环境下微量氧难精准监测的痛点。
测量原理：氧化锆浓差电池式，利用氧化锆陶瓷在高温下的氧离子传导特性，通过参考气（空气）与被测气的氧浓度差产生的电动势计算氧含量，传感器自带加热元件维持工作温度。
典型场景：半导体真空沉积、光伏扩散工艺、真空热处理、真空钎焊等需要真空环境下 ppm 级氧含量监测的工艺环节。
更多详情或需提供技术支持可联系：13024103468 刘经理（V同号）
二、详细参数规格
| 参数类别 | 具体参数 | 备注 |
|---|---|---|
| 测量范围 | 0.1ppm - 100vol% O₂，可选量程：0 - 1/10/100/1000ppm、1/10/100vol% O₂ | 自动 / 手动量程切换，覆盖微量到常量全区间 |
| 重复性 | 0 - 1% 量程以上：±0.5% FS；0 - 1% 量程以下：±1% FS 或 ±0.1ppm（取较大值） | 保证低浓度区间测量精度 |
| 响应时间（T90） | ≤2s | 分离式传感器设计，缩短响应路径 |
| 传感器规格 | 探头直径 φ12mm，嵌入式安装 | 适配 NW 系列法兰，可直接嵌入真空腔体 |
| 适用温度 | 传感器：-10℃ - 600℃（腔体环境）；转换器：0℃ - 50℃ | 高温工况适配性强 |
| 适用真空度 | 10⁻²⁰~10⁰atm | 全真空区间覆盖 |
| 输出规格 | 模拟输出（T 规格）：4 - 20mA DC（绝缘，负载≤550Ω）或 0 - 10V DC（绝缘，负载≥600kΩ）；通信输出（C 规格）：RS - 232C | 两种输出可选，适配 PLC / 数据记录仪 |
| 供电要求 | 需搭配 DU - 450 电源单元，AC100 - 240V，50/60Hz | 电源单元壁挂式，安装深度较前代缩减 40% |
| 材质与防护 | 传感器特殊涂层保护，耐腐蚀、抗污染 | 延长真空 / 高温环境下的使用寿命 |
| 安装方式 | 传感器：NW 法兰直插式；转换器：壁挂式 | 分离式设计，布局灵活 |
| 防护标准 | 符合 CE、EN61010 - 1、EN61326 - 1、RoHS 指令 | 满足工业安全与环保要求 |
