长野计器 GW 系列专为半导体 / 高洁净设计的不锈钢机械式波登管压力计
2026-01-05 13:58:38
admin
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长野计器 GW 系列专为半导体 / 高洁净设计的不锈钢机械式波登管压力计
长野计器 GW 系列是专为半导体 / 高洁净工业设计的不锈钢机械式波登管压力计，分 φ28/φ35/φ40/φ50/φ60 等规格，量程覆盖 - 0.1~3.5MPa，精度 ±1.0%~±1.6% F.S.，以高洁净、耐腐、高气密性适配高纯度气体 / 腐蚀性介质的压力监测。以下是详细介绍：
一、核心定位与分类
GW 系列主打 “洁净 + 耐腐”，按表盘尺寸与安装结构划分，适配半导体、电子、光伏等对介质纯度与环境腐蚀敏感的场景：
| 分类 | 表盘尺寸 | 核心特征 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| GW28 | φ28mm | 隔膜型，接液部死腔小（约为传统波登管的 1/2），易清洁 | 半导体气路集成安装、微流量系统压力监测 |
| GW35/GW45 | φ35mm/φ40mm | SUS316L 接液材质，高洁净级清洗，氩弧焊密封 | 高纯度工艺气体输送、洁净室压力控制 |
| GW11/16/21（φ50mm）GW12/17/22/27（φ60mm） | φ50mm/φ60mm | 全不锈钢机芯，A/D 型安装，带防爆膜片 | 半导体工厂管路、腐蚀性气体处理系统 |
更多详情或需提供技术支持可联系：13024103468 刘经理（V同号）
二、型号命名规则（以 GW12-121-0.4MP 为例）
| 部分 | 含义 | 示例 |
|---|---|---|
| GWXX | 系列代号 + 表盘尺寸（28=φ28，35=φ35，45=φ40，11=φ50，12=φ60 等） | GW12=φ60mm 半导体专用压力计 |
| XX | 安装方式 + 连接规格（121 = 径向 A 框后接，17 = 径向 D 框，22 = 轴向等） | 121 = 径向 A 框，17 = 径向 D 框（安装夹具） |
| 量程 | 测量范围（MPa/kPa） | 0.4MP=0~0.4MPa，-0.1~0MPa = 真空测量 |
更多详情或需提供技术支持可联系：13024103468 刘经理（V同号）
三、关键技术参数
| 参数 | 规格 | 备注 |
|---|---|---|
| 测量量程 | -0.1~0MPa（真空）、0~0.4MPa~0~3.5MPa（正压） | 工作压力建议取量程 30%~65% 以保证精度 |
| 精度等级 | ±1.0%~±1.6% F.S.（符合 JIS B 7505-1） | 标准环境 23℃，波动工况建议预留余量 |
| 接液材质 | 波登管 / 接头 SUS316L（低压段可选 SUS316），机芯 SUS，外壳 SUS304 | 氩弧焊密封，适配高纯度气体 / 弱腐蚀性液体 |
| 防护与安全 | 外壳带防爆膜片（Blowout Disc），波登管破裂时泄压防窗损 | GW28 为隔膜型，GW35/45/50/60 为波登管型 |
| 连接规格 | R1/4、9/16-18UNF、1/4NPT、G1/4B 等 | 适配半导体行业常用管螺纹 |
| 安装方式 | 径向 A 框（后接）、径向 D 框（夹具安装）、轴向（中心后接） | D 框适配嵌入式密集安装 |
| 洁净等级 | 高洁净级清洗， leak test≤1×10⁻⁹Pa・m³/s | 满足半导体气路洁净度要求 |
更多详情或需提供技术支持可联系：13024103468 刘经理（V同号）
四、核心优势
高洁净适配：全不锈钢部件 + 氩弧焊密封，死腔小、易清洁，适配高纯度气体（如 N₂、O₂、SiH₄），避免介质污染。
耐腐可靠：接液部 SUS316L + 外壳 SUS304，抗工艺介质与环境腐蚀，防爆膜片提升安全系数。
安装灵活：多尺寸、安装方式可选，适配半导体设备集成与管路现场安装。
维护便捷：机械结构无需供电，直读性强，日常清洁表盘、检查指针与密封性即可。
五、典型型号与应用场景
| 型号 | 表盘尺寸 | 量程 | 安装方式 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|
| GW28-XXX-0.2MP | φ28mm | 0~0.2MPa | 轴向 | 半导体气路微压监测、腔体压力控制 |
| GW35-121-0.4MP | φ35mm | 0~0.4MPa | 径向 A 框 | 光伏 PECVD 工艺气体压力显示 |
| GW45-17-1.0MP | φ40mm | 0~1.0MPa | 径向 D 框 | 电子工厂腐蚀性气体管路压力监测 |
| GW12-121-3.5MP | φ60mm | 0~3.5MPa | 径向 A 框 | 半导体清洗设备高压水路压力控制 |
